De elektroanenstraalferdampingsmetoade is in soarte fan fakuümferdampingscoating, dy't elektroanenstralen brûkt om it ferdampingsmateriaal direkt ûnder fakuümbetingsten te ferwaarmjen, it ferdampingsmateriaal te ferdampen en it nei it substraat te ferfieren, en kondinsearje op it substraat om in tinne film te foarmjen. Yn de elektroanen beam ferwaarming apparaat, de ferwaarme stof wurdt pleatst yn in wetter-kuolle kroes, dat kin mije de reaksje tusken de evaporation materiaal en de kroes muorre en beynfloedzje de kwaliteit fan de film. Meardere kroezen kinne yn it apparaat pleatst wurde om simultane of aparte ferdamping en ôfsetting fan ferskate stoffen te berikken. Mei elektroanenbeamferdamping kin elk materiaal wurde ferdampt.
Electron beam evaporation kin evaporate hege smeltpunt materialen. Yn ferliking mei algemiene ferwaarming ferwaarming ferdamping, it hat hegere termyske effisjinsje, hegere beam hjoeddeistige tichtheid, en flugger ferdamping snelheid. Film en film fan ferskate optyske materialen lykas conductive glês.
It skaaimerk fan elektroanen beam ferdamping is dat it sil net of komselden cover de twa kanten fan it doel trijediminsjonale struktuer, en meastal allinnich ôfsettings op it doel oerflak. Dit is it ferskil tusken elektroanen beam ferdamping en sputtering.
Elektronen beam ferdamping wurdt faak brûkt op it mêd fan semiconductor ûndersyk en yndustry. De fersnelde elektronenerzjy wurdt brûkt om it materiaaldoel te slaan, wêrtroch it materiaaldoel ferdampt en opkomt. Uteinlik dellein op it doel.
Post tiid: Dec-02-2022