Metal Rotary Target
Ortogonale magnetyske en elektryske fjilden wurde tapast tusken it sputterdoel (katode) en de anode.En folje de fereaske inerte gas (meastal Ar gas) yn 'e hege fakuüm keamer.Under de aksje fan in elektrysk fjild wurdt Ar-gas ionisearre yn positive ioanen en elektroanen.In bepaalde negative hege spanning wurdt tapast op it doel, de elektroanen útstjoerd troch it doel wurde beynfloede troch it magnetysk fjild, de kâns op ionisaasje fan it wurkgas nimt ta, in hege tichtheid plasma wurdt foarme tichtby de kathode, en de Ar-ionen wurde beynfloede troch de Lorentz-macht.Fersnelle dan om nei it doelflak te fleanen, en bombardearje it doelflak mei hege snelheid, sadat de sputterde atomen op it doel it prinsipe fan momentumkonverzje folgje, fan it doelflak nei it substraat fleane en in film mei hege kinetyske enerzjy deponearje.
Om it gebrûksnivo fan it doelmateriaal fierder te ferbetterjen, wurdt in rotearjende kathode mei hegere gebrûkseffisjinsje ûntworpen, en in buisfoarmich doelmateriaal wurdt brûkt foar sputterende coating.De ferbettering fan sputtering apparatuer fereasket dat it doel wurdt feroare fan in platte foarm nei in tubular foarm, en it benutten taryf fan de tubular rotearjende doelwyt kin wêze sa heech as 70%, dat foar in grut part oplost it probleem fan lege benutten fan it platte doel.
Produkt namme | Metal rotearjende doel |
Materiaal | W, Mo, Ta, Ni, Ti, Zr, Cr, TiAl |
Hot ferkeap grutte | ID-133/ OD-157x 3191mm ID-133/OD-157 X 3855mm ID-160/OD-180x1800mm Kin ek wurde ferwurke neffens de spesifike easken fan klanten |
MOQ | 3 stiks |
Pakket | Ply houten koffer |
Oanfraach
Sputtering coating is in nij soarte fan fysike damp coating metoade.Yn ferliking mei de metoade fan ferdampingscoating hat it dúdlike foardielen
yn in protte aspekten.Metalen sputterdoelen binne op in protte fjilden brûkt.De wichtichste tapassing fan rotearjend doel.
■Sinnesellen
■Arsjitektoanysk glês
■Auto glês
■Semiconductor
■Flat-screen TV, ensfh
Order ynformaasje
Oanfragen en oarders moatte de folgjende ynformaasje befetsje:
☑Doelspesifikaasje ID×OD×L (mm).
☑Quantity fereaske.
☑Nim dan kontakt mei ús op foar mear spesjale behoeften.